産業用X線CTスキャナに続き、熊本大学に東芝製マイクロフォーカスX線CTスキャナが導入されました。
この装置は産業用X線CTスキャナよりもさらに性能が向上しており、数μm の解像度を有しています。
このため、材料の微細構造の分析や非常に小さい亀裂の進展問題など、これまで以上に詳細な分析が可能になりました。
また、3次元のCT画像を1回の撮影で得る事ができ（コーンビーム撮影）、様々な材料の詳細な3次元構造の分析が可能なりました。

μフォーカスX線CTスキャナの主な構成部品を上図に示します。
この装置では、水平に照射されたX線が、ターンテーブルの回転や上下への平行移動によって供試体内部を通過していきます。
試料を通過したX線はFPDと呼ばれるパネルで検知され、その信号を数値データに変換します。
データは処理を施された後にワークステーションにより画像として再構成されます。